অর্ধপরিবাহী চাপ সেন্সর দুটি ভাগে ভাগ করা যায়, একটি মৌলিক নীতির উপর ভিত্তি করে যে সেমিকন্ডাক্টর পিএন জংশন (বা স্কটকি জংশন) চাপের মধ্যে I-υ বৈশিষ্ট্যের পরিবর্তন করে। এই ধরণের চাপ-সংবেদনশীল উপাদানগুলির বৈশিষ্ট্যগুলি খুব অস্থিতিশীল এবং ব্যাপকভাবে বিকশিত হয়নি। অন্যটি হল সেমিকন্ডাক্টর পাইজারোসিস্টিভ ইফেক্টের উপর ভিত্তি করে গঠিত সেন্সর, যা প্রধান ধরনের সেমিকন্ডাক্টর প্রেসার সেন্সর। প্রথম দিনগুলিতে, অর্ধপরিবাহী প্রতিরোধের স্ট্রেন গেজগুলি বিভিন্ন স্ট্রেস এবং স্ট্রেন টেস্টিং যন্ত্র তৈরির জন্য ইলাস্টিক উপাদানগুলিতে আটকানো হয়েছিল। 1960 -এর দশকে, সেমিকন্ডাক্টর ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট চিপগুলির প্রযুক্তিগত বিকাশের পাশাপাশি, পাইজোরেস্টিভ উপাদানগুলি উপস্থিত হওয়ার সাথে সাথে ডিফিউশন রেজিস্টার সহ সেমিকন্ডাক্টর প্রেসার সেন্সর। এই ধরণের চাপ সেন্সরের একটি সহজ এবং নির্ভরযোগ্য কাঠামো রয়েছে। কোন আপেক্ষিক চলমান উপাদান আছে। চাপ সংবেদনশীল উপাদান এবং সেন্সরের ইলাস্টিক উপাদান একত্রিত হয়, যা যান্ত্রিক সরঞ্জাম এবং চাপ শিথিলতার পশ্চাদপদতা দূর করে এবং সেন্সরের বৈশিষ্ট্য উন্নত করে।
সেমিকন্ডাক্টরগুলির পাইজোরেস্টিভ প্রভাব সেমিকন্ডাক্টরগুলির বাহ্যিক শক্তির সাথে সম্পর্কিত একটি বৈশিষ্ট্য রয়েছে, অর্থাৎ প্রতিরোধ ক্ষমতা (চিহ্ন indicated দ্বারা নির্দেশিত) মাটির শক্তির সাথে পরিবর্তিত হয়, যাকে পাইজারোসিস্টিভ প্রভাব বলা হয়। একক স্থল চাপের কর্মের অধীনে প্রতিরোধের আপেক্ষিক পরিবর্তনকে পাইজারোসিস্টিভ সহগ বলা হয় এবং the চিহ্ন দ্বারা প্রতিনিধিত্ব করা হয়। গাণিতিক সূত্রে ressed ρ/ρ=as হিসাবে প্রকাশ করা হয়েছে
সূত্রে, stress চাপের প্রতিনিধিত্ব করে। প্রতিরোধের মান পরিবর্তন (R/R) যা একটি অর্ধপরিবাহী প্রতিরোধককে চাপের সম্মুখীন হওয়ার প্রয়োজন হয় যখন প্রতিরোধের পরিবর্তনের দ্বারা নির্ধারিত হয়, তাই পাইজারোসিস্টিভ প্রভাবের জন্য উপরের রিলেশনাল সমীকরণটিও R/R=as হিসাবে লেখা যেতে পারে
বাহ্যিক শক্তির কর্মের অধীনে, অর্ধপরিবাহী স্ফটিকের মধ্যে কিছু স্থল চাপ (σ) এবং স্ট্রেন (ε) সৃষ্টি হয়। তাদের মধ্যে অভ্যন্তরীণ সম্পর্ক নির্ধারিত হয় কাঁচামালের তরুণ' এর মডুলাস (Y) দ্বারা, অর্থাৎ Y=σ/
যদি পাইজোরেস্টিভ প্রভাব সেমিকন্ডাক্টর সহ্য করতে পারে এমন স্ট্রেনের পরিপ্রেক্ষিতে প্রকাশ করা হয়, তাহলে R/R=Gε
জি কে চাপ সেন্সরের সংবেদনশীলতা ফ্যাক্টর বলা হয়, যা ইউনিট স্ট্রেন দ্বারা সৃষ্ট প্রতিরোধের আপেক্ষিক পরিবর্তনের প্রতিনিধিত্ব করে।
পাইজোরেস্টিভ ইনডেক্স বা দক্ষতা ফ্যাক্টর হল সেমিকন্ডাক্টর পাইজারোসিস্টিভ ইফেক্টের মৌলিক শারীরিক পরামিতি। তাদের মধ্যে সম্পর্ক স্থল চাপ এবং স্ট্রেনের মধ্যে সম্পর্কের সমান, যা তরুণ' এর কাঁচামালের মডুলাস দ্বারা নির্ধারিত হয়, অর্থাৎ G=πY
যেহেতু অর্ধপরিবাহী স্ফটিকগুলি স্থিতিস্থাপকতায় অ্যানিসোট্রপিক, ইয়াং' এর মডুলাস এবং স্ফটিক অভিযোজন সহ পাইজারোসিস্টিভ সহগ পরিবর্তন। অর্ধপরিবাহী পাইজারোসিস্টিভ প্রভাবের আকারও অর্ধপরিবাহীর প্রতিরোধের সাথে ঘনিষ্ঠভাবে সম্পর্কিত। প্রতিরোধের পরিমাণ কম, সংবেদনশীলতা ফ্যাক্টরের মান ছোট। ডিফিউশন রেজিস্টরের পাইজোরেসিস্টিভ এফেক্ট স্ফটিক প্রবণতা এবং ডিসফিউশন রেজিস্টারের অশুদ্ধতা ঘনত্ব দ্বারা নির্ধারিত হয়। মূল অপবিত্রতা ঘনত্ব বিস্তার স্তরের পৃষ্ঠ অশুচি ঘনত্ব বোঝায়।







